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晶圓烘箱

簡要描述:晶圓烘箱適用于對加熱中需要氮氣保護或?qū)ρ鹾亢蜐崈舳扔休^高要求的產(chǎn)品及材料在恒溫或階梯溫度下進行預(yù)熱、老化、烘烤、固化、淬火等工藝以及恒溫適應(yīng)性試驗

  • 產(chǎn)品型號:CTCO
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-01-14
  • 訪  問  量:785

詳細介紹

品牌愛義信加熱方式不銹鋼無塵加熱器
內(nèi)膽材質(zhì)鏡面不銹鋼內(nèi)膽尺寸W800*D600*H1000mmcm
外形尺寸W1300*D900*H1800mmmm溫度波動±0.5℃℃
溫度范圍RT+10~350℃℃價格區(qū)間8千-1.5萬
儀器種類精密烘箱產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,制藥,汽車,電氣

晶圓烘箱外觀結(jié)構(gòu):

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理

★工作室內(nèi)百級,采用進口 H14耐高溫高效過濾器,過濾率0.3μm粒子99.995%以上

★隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,表面溫度<45℃

★門框密封采用無氟硅橡膠密封條,耐高溫,抗老化

★隔板可調(diào)整高度及增減數(shù)量

晶圓烘箱風(fēng)路系統(tǒng):

★采用密封內(nèi)循環(huán)風(fēng)路,減少氮氣消耗

★采用倒U型風(fēng)道結(jié)構(gòu)設(shè)計,箱內(nèi)兩側(cè)單向水平送風(fēng),風(fēng)道倉內(nèi)強壓送風(fēng)

★特殊可調(diào)導(dǎo)風(fēng)板設(shè)計,保障工作室內(nèi)送風(fēng)均勻

★大功率三相異步耐高溫長軸馬達,不銹鋼渦輪扇葉(出廠動平衡調(diào)整)結(jié)合不銹鋼蝸牛殼結(jié)構(gòu)結(jié)合兩側(cè)不銹鋼沖孔風(fēng)板,風(fēng)力強勁,送風(fēng)均勻,平穩(wěn),工作噪音<65dB

溫控系統(tǒng):

★不銹鋼無塵加熱器,潔凈無塵

PLC+7寸彩色觸摸屏,HMI人機交互系統(tǒng),中文操作界面,全自動程序運行模式, PID智能演算,自動恒溫,超溫保護,傳感器斷線保護,斷電記憶功能,帶氧含量、溫度值,工作狀態(tài)(排氧、維持、加熱、電磁閥、及故障等)監(jiān)控界面、程序設(shè)定界面、歷史曲線界面、歷史數(shù)據(jù)功能,可通過USB導(dǎo)出數(shù)據(jù),搭配PC端溫度數(shù)據(jù)處理軟件

采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊,控溫精度0.1級,自動恒溫,智能PID演算,帶30段程序升溫,帶傳感器斷線警報,AT自整定,超溫控制,斷電記憶功能,控溫準,穩(wěn)定性好

高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統(tǒng):

★按鍵鎖

★超溫保護

★電流過載保護

★漏電保護

★接地保護

規(guī)格參數(shù):

設(shè)備型號

Model

CTCO-180(A/B)

CTCO-270(A/B)

CTCO-480(A/B)

控溫范圍

Operating Temp. Range

RT+10~350℃

溫度分辨率

Temperature resolution

0.1℃

溫度波動度

Control stability

±0.5℃

溫度均勻度

Temperature uniformity

±1.5℃(at100℃ 恒溫空載狀態(tài)下)

±2.5℃(at200℃ 恒溫空載狀態(tài)下)

±3.5℃(at300℃ 恒溫空載狀態(tài)下)

±5.0℃(at350℃ 恒溫空載狀態(tài)下)

潔凈度

Cleanliness

百級 Class100/  千級 class1000

高效過濾器

HEPA

H14耐高溫高效過濾器,過濾率0.3μm粒子99.995%以上

氧含量

Oxygen content

<20ppm

 

晶圓烘箱的維護工作  
清潔工作
在使用過程中,內(nèi)部會積累灰塵、油污等雜質(zhì),這些雜質(zhì)會影響烘箱的加熱效果和溫度控制精度。因此,定期進行清潔是非常必要的。清潔工作主要包括以下幾個方面:  
(1)定期更換過濾網(wǎng):過濾網(wǎng)可以有效防止灰塵、雜質(zhì)進入烘箱內(nèi)部,影響加熱效果。因此,需要定期檢查過濾網(wǎng)的清潔程度,如發(fā)現(xiàn)過濾網(wǎng)堵塞或破損,應(yīng)及時更換。  
(2)清潔加熱元件:加熱元件表面的油污、灰塵會影響其加熱效果,因此需要定期對加熱元件進行清潔。清潔時可以使用專用清潔劑和軟布進行擦拭,避免使用硬物刮傷加熱元件表面。  
(3)清潔箱體內(nèi)部:箱體內(nèi)部的灰塵、雜質(zhì)也會影響烘箱的加熱效果和溫度控制精度。清潔時可以使用吸塵器或者軟布進行擦拭,注意不要損壞箱體內(nèi)部的絕緣材料。  
檢查與維修工作  
為了保證正常運行,需要定期對其進行檢查與維修。檢查與維修工作主要包括以下幾個方面:  
(1)檢查溫度控制系統(tǒng):溫度控制系統(tǒng)是核心部分,需要定期檢查其工作狀態(tài)。檢查時可以通過查看溫度控制器的顯示值和實際值是否一致,以及溫度控制器的報警功能是否正常來判斷其工作狀態(tài)。  
(2)檢查加熱元件:加熱元件是主要組成部分,需要定期檢查其工作狀態(tài)。檢查時可以通過測量加熱元件的電阻值來判斷其是否損壞,如發(fā)現(xiàn)電阻值異常,應(yīng)及時更換加熱元件。  
(3)檢查密封性能:密封性能直接影響到其保溫效果和使用壽命。檢查時可以通過觀察烘箱門的密封條是否完好,以及烘箱內(nèi)部是否有漏氣現(xiàn)象來判斷其密封性能。如發(fā)現(xiàn)密封性能不良,應(yīng)及時更換密封條或者修復(fù)漏氣部位。  
培訓(xùn)與操作規(guī)程  
為了保證正常運行和延長其使用壽命,還需要對操作人員進行培訓(xùn),并制定相應(yīng)的操作規(guī)程。培訓(xùn)內(nèi)容主要包括基本結(jié)構(gòu)、工作原理、操作方法、維護保養(yǎng)等方面。操作規(guī)程應(yīng)明確規(guī)定使用條件、操作步驟、注意事項等內(nèi)容,以確保操作人員能夠正確、安全地使用。

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